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プラズマダイサー APX300-DM
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APX300-DMはプラズマによる化学反応プロセスを用いた加工であり、既存のブレードによるメカニカルなダスト・デブリ・振動・水圧が無く、クリーンな加工をご提案します。

  • シングルチャンバー構成で研究開発から量産まで幅広く対応可能
  • 同一チャンバーで異なる材質の連続加工が可能（Si＋絶縁膜※ ）
  • 200㎜リング付きウエハ/300㎜リングフレーム付きウエハに対応
                                                                                                                                          ※SiO2、SiN、etc
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APX300（ダイサーモジュール）
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「プラズマダイサー APX300-DM」の特長・効果
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プラズマダイシング技術：ウエハーからのチップ切り出し工法革新
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プラズマダイシングによるモノづくり革新
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プラズマダイサー APX300-DM

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