PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法により下記2種類のモデルが選択できます。

S type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm
M type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm

特長（PSX307シリーズ共通）

• 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
• 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
• 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
• オンライン化によるトレーサビリティ確保

用途例

• ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上
• モールド、アンダーフィルの密着性向上

主な機能・特長

• 面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成
• 独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能
• 当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現
• オンライン化によるトレーサビリティ確保

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