Campaign bands
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White
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こんなお困りごとありませんか？
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PlazmaDicer-01
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- ダメージやチッピングを無くしたい
- プラズマによる一括処理により、高い生産性を実現したい
- 歩留り低下を引き起こすダスト/パーティクルの発生を抑えたい
- 自由なチップ形状を設計したい
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Grey
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ダメージレスかつクリーンなダイシングで高生産性を実現します。
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PlazmaDicer-02
Column items
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- ダメージレス & チッピングフリー、チップの抗折強度を向上
- 薄いウエハ厚（≦50 μm）を低ダメージに個片化
- 低デバイスダメージでの個片化を実現し得るケイパビリティ
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Column title
1. ダメージレス & チッピングフリー
Column body
- 一括プロセス処理、且つ、高いSi加工速度
- 狭いダイシング幅 （≦5 μm） 、且つ チッピング、クラックレスにより実現し得る狭いカーフマージンにより、1ウエハ当たりのチップ取れ数を増加することが可能
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2. 高い生産性, 低い CoO
Column body
- プラズマエッチングによる化学反応加工であり、機械的な発塵、振動、水圧などの機械的な打撃のないクリーンなプロセスを実現
- 歩留まりを向上し得るケイパビリティ
- 検査数、検査箇所を削減し得るポテンシャル
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3. ダストフリー & パーティクルレス
Column body
- 自由にチップの形状や格子状以外のレイアウトの検討、実現が可能
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4. 様々なチップ形状 & レイアウト対応
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White
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対象機器・対象パッケージ一覧
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PlazmaDicer-03
Wysiwyg body
| 機種 |
APX300-DM |
|---|---|
| 外観 | プラズマダイシング技術によりダメージフリー、チップ取れ数増大、生産性向上を実現 |
| 特長 |
|
| 対象ウエハー |
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Grey
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ソリューション一覧
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PlazmaDicer-04
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DAFなど樹脂材料のプラズマダイシング
Band body
▲加工事例
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絶縁膜など積層ウエハ、WoW構造のプラズマダイシング
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その他、様々な加工事例
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関連製品
Column items
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お問い合わせ
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PlazmaDicer-05
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プラズマダイサー [ソリューション]
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