扩展规格，配备灰化室和冲洗室，可防止金属加工过程中的腐蚀

• 灰化室： 　　
  高温/低温/H2O灰化兼容 　　
  抗灰化处理，脱氯/脱氟防腐处理
• 冲洗室： 　　
  在线清洗（纯水和化学品）可防止难以通过灰化抑制的腐蚀

高密度等离子体和反应室温度控制（顶板和侧壁）可实现稳定、高速的处理蚀

• 高功率、高密度等离子源
• 通过冷却和控制等离子源以及反应室侧壁的温度，温度得以稳定，从而防止晶圆受到热损伤

FS-ICP 可去除顶板上的粘附物，从而实现非挥发性材料的稳定处理　

* 通过扩充规格（灰化室、漂洗室），可以防止腐蚀。

• FS-ICP 等离子源： 　　
  位于 ICP 线圈正下方的 FS 天线可去除附着在顶板上的沉积物，从而延长维护周期（减少清洁频率）
  　 　 射频 (RF) 的施加和控制独立于 ICP 和 FS，从而实现更宽的工艺窗口和更高的稳定性
• 灰化室/清洗室： 　　
  在线灰化/冲洗可防止光刻胶去除和氯/氟腐蚀

通过将射频 (RF) 应用于 FS 天线并溅射顶板，可以防止和去除粘附在顶板上的不需要的沉积物。
此外，通过产生高密度等离子体，并在非挥发性材料量产过程中维持稳定的等离子体，可以实现长期MTWC。

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