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等离子清洁机 PSX307
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PlazmaCleaner-01
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主要功能和特点
- 兼顾面内均一性和蚀刻速率的腔体设计
- 通过专用升降单元，可以应对有翘曲度的薄基板和背面有元件的基板
- 通过本公司专用等离子监视功能，避免异常放电，实现无损处理
- 通过轨道式确保可追溯性
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优势和特点
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PlazmaCleaner-02
Item body
PSX307是附带自动传送的基板用平行平板型等离子清洁机。有附带加载·卸载和在线规格可供选择，根据基板尺寸，可从以下2种机型中选择。 S 类型基板尺寸：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm M 类型基板尺寸：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm
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应用事例
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PlazmaCleaner-03
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接合性
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密闭性
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维修保养支持 应用（PSX307-HSA）
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PlazmaCleaner-04
Wysiwyg body
通过等离子清洁机（PSX307）设备状态的可视化，支持预防保全
- 对设备状态变化进行评分，实现最佳时期的维修保养
- 能够确认最多100台的有计划的运用
- 适用于既存的等离子清洁机（PSX307），无需特殊改造
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设备（反应室）的污垢程度显示
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- 状态变迁：显示过去30天的状态
- 污垢相关度：显示受影响的部位
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设备 （反应室）的污垢程度变迁和相关度显示
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系统构成
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解决方案
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PlazmaCleaner-05
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展会和研讨会信息
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汇总刊载正在举办中的研讨会和展会信息。同时还会刊载过去的研讨会和展会信息。
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联系我们
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等离子清洁机 PSX307/PSX307-HSA
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