世界超高水准的三维测量仪“UA3P”可适应众多领域。

1. 超高精度测量（实现单纳米级重现性）
2. 通过接触测量实现绝对形状评估（旋转对称非球面/自由曲面）
3. 支持复杂形状的灵活NC路径
4. 可以根据测量数据进行各种分析（ex. Zerinike分析）
5. 还可进行面间/外形偏心评估（ex.非球面/自由曲面/晶圆透镜）
6. 可以测量复杂形状的表面粗糙度
7. 没有设计公式也可进行测量评估
8. 可以使用CAD数据评估
9. 通过自动测量实现作业平准化、省人化

测量仪的坐标系由基台和独立的3块参照平面（镜片）构成，通过以频率稳定化的He-Ne激光作为光源的激光干涉法，以0.3 nm的分辨率对XYZ各轴进行测长。由此可以减少基台的直角度和真直度的影响，实现高精度测量。

• 坐标轴导致的测量误差：0.05 μm以内（～100 mm）、0.3 μm以内（～500 mm）

能够以超低测量力实现测量物的高精度扫描测量。
使用微型空气滑块固定触针，通过对焦用激光检测触针的动作，根据测量物的形状跟随AFP的位置，确保测量力恒定。

• 测量力：0.15～0.30 mN（15～30mgf）※UA3P-3100/4000は0.05～0.30 mN、UA3P-5000Hは0.10～0.30 mN
• 触针：可以使用前端角30度、r=2 μm的金刚石触针

以简单的操作，实现高精度的测量。可以支持所有设计信息，三维补正测量物的设置误差，实现正确的形状测量。