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门真实证中心
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门真据点设有等离子切割实证中心、干式蚀刻实证区域、等离子清洁实证区域。

配备了实施评估所需的装置和实证结果检查装置,接受客户的演示要求。

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门真据点
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门真据点
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美野岛据点
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美野岛据点
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装置及实证应对内容
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门真据点 【等离子切割实证中心】

应对内容

针对直径200mm或300mm大小的硅晶圆的等离子切割实证(200mm以下的尺寸也可应对)

主要装置

  1. 等离子切割机 APX300-DM
  2. 周边加工设备
    • 背磨机
      将晶圆打薄加工至规定厚度
    • 光刻机
      在晶圆上形成离子照射保护层,决定切片位置
    • 激光制图
      形成切片用的线条
  3. 检查装置
    加工段差和膜厚测量、电子显微镜等
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门真据点
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等离子切割前后所需装置也一应俱全,一站式开展实证应对。

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一站式开展实证应对
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门真据点 【干式蚀刻实证区域】

应对内容

直径200mm以下的干式蚀刻实证

主要装置

  1. 干式蚀刻机 APX300APX300-S
  2. 检查装置
    加工段差和膜厚测量、电子显微镜等
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门真据点 干式蚀刻实证区域
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门真据点 【等离子清洁机实证区域】

应对内容

基板和晶圆的等离子清洁效果实证

主要装置

  1. 等离子清洁机 PSX307(S typeとM type)PSX307A
  2. 检查装置
    水滴接触角测量、表面元素分析、膜厚测量、电子显微镜等。
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PSX307S、PSX307A
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美野岛据点【晶片接合/倒装芯片接合实证区域】

应对内容

晶片接合/倒装芯片接合实证

主要装置

  1. 晶片接合机 MD-P200DA
  2. 倒装芯片接合机 MD-P200US2MD-P300
  3. 检查装置
    透射X光设备、晶片剪切测试仪、金相显微镜等。
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美野島拠点
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地址
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门真据点
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邮编:571-0056
大阪府门真市松叶町2番7号

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美野岛据点
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邮编:812-8531
福冈县福冈市博多区美野岛4-1-62

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详情请联系本公司销售公司、营业担当。
此外,您也可以通过本页面下方的“咨询表”进行咨询。

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联系我们
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